GB/T 14851-2009 (Англоязычная версия) Газ для электронной промышленности.Фосфин

Стандартный №: GB/T 14851-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 14851-2009
заменять: GB/T 14851-1993

сфера применения: Этот стандарт определяет технические требования, методы испытаний, упаковку, маркировку, хранение, транспортировку и безопасность фосфина, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на фосфиновые продукты, полученные термическим разложением фосфористой кислоты, гидролизом фосфида, реакцией элементарного фосфора с водой или щелочью и очищенные. В основном его используют для эпитаксии, ионной имплантации и легирования при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

GB/T 14851-2009 Ссылочный документ

GB 14193-2009 Правила наполнения баллонов сжиженным газом
GB 190-2009 Символ упаковки опасных грузов
GB 5099-1994 Бесшовные стальные газовые баллоны
GB 7144-1999 Цветная маркировка баллона для газов
GB/T 3723-1999 Отбор проб химических продуктов для промышленного использования. Безопасность при отборе проб.
GB/T 8984-2008 Определение угарного газа, углекислого газа и углеводородов в газах. Газохроматографический метод