ASTM D5544-16
Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты

Стандартный №

ASTM D5544-16

Дата публикации

2016

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM D5544-16

сфера применения

5.1. Даже так называемая вода высокой чистоты будет содержать загрязняющие вещества. Хотя эти загрязняющие вещества не всегда присутствуют, они могут способствовать одному или нескольким из следующих веществ: растворенные активные ионные вещества, такие как кальций, магний, натрий, калий, марганец, аммоний, бикарбонаты, сульфаты, нитраты, ионы хлорида и фтора, ионы железа и двухвалентного железа, и силикаты; растворенные органические вещества, такие как пестициды, гербициды, пластификаторы, мономеры стирола, материал деионизационной смолы; и коллоидные суспензии, такие как диоксид кремния. Хотя этот метод испытаний облегчает мониторинг этих загрязнений в воде высокой чистоты в режиме реального времени с помощью одного прибора, этот метод испытаний не способен идентифицировать различные источники остаточного загрязнения или обнаружить растворенные газы или взвешенные частицы. 5.2. Этот метод испытаний калибруется с использованием навески искусственного загрязнителя (хлорида калия). Плотность хлорида калия вполне типична для примесей, обнаруженных в воде высокой чистоты; однако реакция этого метода испытаний явно основана на реакции на хлорид калия. Реакция на фактические загрязнения, обнаруженные в воде высокой чистоты, может отличаться от калибровки метода испытаний. В этом отношении этот метод испытаний не отличается от многих других аналитических методов испытаний. 5.3. Вместе с другими методами мониторинга этот метод испытаний полезен для диагностики источников РАЭ в системах сверхчистой воды. В частности, этот метод испытаний можно использовать для обнаружения утечек, таких как прорыв коллоидного кремнезема из стоков первичного аниона или деионизатора смешанного слоя. Кроме того, этот метод испытаний использовался для измерения времени промывки новых фильтров для жидкости и был адаптирован для отбора проб периодического типа (эта адаптация не описана в данном методе испытаний). 5.4. Получение немедленных признаков загрязнения в воде высокой чистоты имеет значение для тех отраслей, где вода высокой чистоты используется для производства компонентов; производство может быть немедленно остановлено для устранения проблемы загрязнения. Эта информация также принесет пользу развивающейся индустрии технологий наночастиц. 1.1 Этот метод испытаний охватывает определение растворенных органических и неорганических веществ и коллоидных материалов, обнаруженных в воде высокой чистоты, используемой в полупроводниковой и смежных отраслях. Этот материал называется остатком после испарения (RAE). Диапазон метода испытаний составляет от 0,001 &#μг/л (ppb) до 60 &#μг/л (ppb). 1.2 В этом методе испытаний используется метод непрерывного мониторинга в реальном времени для измерения концентрации RAE. Проба воды высокой чистоты под давлением подается в аппаратуру метода испытаний непрерывно через сверхчистые фитинги и трубки. Таким образом, предотвращается попадание загрязняющих веществ из атмосферы в пробу. Опубликованы общая информация о методе испытаний и обзор литературы по непрерывному измерению RAE.2 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Значения, приведенные в скобках, представляют собой математические преобразования в единицы дюймы-фунты, которые предназначены только для информации и не считаются стандартными.

ASTM D5544-16 Ссылочный документ

• ASTM D1129 Стандартная терминология, касающаяся воды
• ASTM D2777  Стандартная практика определения точности и систематической погрешности применимых методов Комитета D-19 по воде
• ASTM D3370 Стандартные методы отбора проб воды из закрытых трубопроводов
• ASTM D3864 Стандартное руководство для систем непрерывного онлайн-мониторинга анализа воды
• ASTM D3919  Стандартная практика измерения микроэлементов в воде с помощью атомно-абсорбционной спектрофотометрии в графитовой печи
• ASTM D5127  Стандартное руководство для сверхчистой воды, используемой в электронной и полупроводниковой промышленности
• ASTM E1184  Стандартная практика электротермического (графитовая печь) атомно-абсорбционного анализа

ASTM D5544-16 История

• 2016 ASTM D5544-16 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
• 2011 ASTM D5544-11 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
• 2005 ASTM D5544-05 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
• 1994 ASTM D5544-94(2004) Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты
• 1994 ASTM D5544-94(1999)e1 Стандартный метод испытаний для оперативного измерения остатка после испарения воды высокой чистоты