ASTM F3166-16
Стандартные спецификации для распыляемой мишени из титана высокой чистоты, используемой для металлизации сквозных отверстий кремния (TSV)

Стандартный №

ASTM F3166-16

Дата публикации

2016

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM F3166-16

сфера применения

1.1 В данной спецификации подробно описаны общие критерии требований к мишеням для распыления из высокочистого титана, используемым в качестве тонкопленочного материала для металлизации сквозных кремниевых отверстий (TSV) в предварительной упаковке. 1.2. Спецификации по чистоте мишени для распыления, размеру зерна, внутреннему качеству, склеиванию, размерам и внешнему виду включены в данную спецификацию вместе со ссылками на методы квалификационных испытаний. Также включены требования к надежности, сертификации, отслеживаемости и упаковке. 1.2.1 Требования к чистоте: &#  1.2.1.1&# Примеси металлических элементов и 1.2.1.2&# Примеси неметаллических элементов. 1.2.2 Требования к размеру зерна. Размер зерна. 1.2.3. Внутренние требования к качеству. Внутренний дефект. 1.2.4&# Требования к склеиванию:&#  1.2.4.1&# Опорная пластина и 1.2.4.2&##x00a0;Коэффициент склеивания. 1.2.5&# Требования к конфигурации:&#  1.2.5.1&# Размер, 1.2.5.2&# Допуск и 1.2.5.3&# шероховатость поверхности. 1.2.6 Требования к внешнему виду Чистота поверхности. 1.3. Значения, указанные в единицах СИ, следует рассматривать как стандартные. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.4. Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM F3166-16 Ссылочный документ

• ASTM B209 Стандартные спецификации для листов и пластин из алюминия и алюминиевых сплавов
• ASTM B248 Стандартные технические условия на общие требования к пластинам, листам, полосам и катаным пруткам из кованой меди и медных сплавов
• ASTM E1001  Стандартная практика обнаружения и оценки несплошностей методом погруженного эхо-импульсного ультразвука с использованием продольных волн
• ASTM E112  Стандартные методы испытаний для определения среднего размера зерна
• ASTM F1512 Стандартная практика ультразвуковой оценки сцепления узлов мишени с опорной пластиной методом C-сканирования
• ASTM F1709 Стандартные спецификации для мишеней для распыления титана высокой чистоты для применения в тонкопленочных электронных устройствах
• ASTM F1710 Стандартный метод определения следов металлических примесей в титане электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения

ASTM F3166-16 История

• 2016 ASTM F3166-16 Стандартные спецификации для распыляемой мишени из титана высокой чистоты, используемой для металлизации сквозных отверстий кремния (TSV)