ASTM F1710-97(2002) Стандартный метод определения следов металлических примесей в титане электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
Этот метод испытаний предназначен для применения в полупроводниковой промышленности для оценки чистоты материалов (например, мишеней распыления, источников испарения), используемых в процессах металлизации тонких пленок. Этот метод испытаний может быть полезен в дополнительных приложениях, не предусмотренных ответственным техническим комитетом, по согласованию между заинтересованными сторонами. Данный метод испытаний предназначен для использования аналитиками GDMS в различных лабораториях для унификации протокола и параметров определения микропримесей в чистом титане. Цель состоит в том, чтобы улучшить согласованность данных анализа между лабораториями. Этот метод испытаний также предназначен для пользователей анализов GDMS в качестве помощи в понимании метода определения, а также значимости и надежности сообщаемых данных GDMS. Для большинства металлических частиц предел обнаружения для рутинного анализа составляет порядка 0,01 весовой части на миллион. При соблюдении особых мер предосторожности возможны пределы обнаружения до уровня ниже миллиарда. Этот метод испытаний может использоваться в качестве эталонного метода для производителей и пользователей титановых материалов электронного назначения. 1.1 Этот метод испытаний охватывает определение концентраций следовых металлических примесей в титане высокой чистоты. 1.2 Настоящий метод испытаний относится к анализу с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда с магнитным сектором (GDMS). 1.3 Титановая матрица должна иметь чистоту 99,9 мас.% (марка 3N) или более чистую по отношению к металлическим примесям. Не должно быть основных компонентов сплава, например алюминия или железа, с концентрацией более 1000 весовых частей на миллион. 1.4 этот метод испытаний не включает всю информацию, необходимую для выполнения анализа GDMS. Для достижения необходимой чувствительности требуется сложное лабораторное оборудование с компьютерным управлением, умело используемое опытным оператором. Этот метод испытаний не охватывает конкретные факторы (например, подготовку образцов, установку коэффициентов относительной чувствительности, определение пределов чувствительности и т. д.), которые, как известно ответственному техническому комитету, влияют на надежность анализа титана высокой чистоты. 1.5 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1710-97(2002) История
2008ASTM F1710-08(2016) Стандартный метод определения следов металлических примесей в титане электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
2008ASTM F1710-08 Стандартный метод определения следов металлических примесей в титане электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
1997ASTM F1710-97(2002) Стандартный метод определения следов металлических примесей в титане электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения
1997ASTM F1710-97 Стандартный метод определения следов металлических примесей в титане электронного качества с помощью масс-спектрометра тлеющего разряда высокого массового разрешения