ASTM F50-12(2015) Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы

Стандартный №: ASTM F50-12(2015)
Дата публикации: 2012
Разместил: American Society for Testing and Materials (ASTM)
состояние: быть заменен
быть заменен: ASTM F50-21
Последняя версия: ASTM F50-21

сфера применения: 5.1. Основная цель данного руководства — описать процедуру сбора данных, близких к реальному времени, о концентрации частиц в воздухе и их распределении по размерам в чистых зонах, как указано с помощью методов подсчета отдельных частиц. Реализация некоторых правительственных и отраслевых требований требует сбора данных о размере частиц и концентрации с использованием SPC. 5.2. Требования к обработке многих продуктов, производимых в чистых помещениях, включают настолько низкий уровень чистоты окружающей среды, что для определения характеристик воздуха в чистом помещении требуется счетчик одиночных частиц с возможностью обнаружения очень мелких частиц. Информацию в режиме реального времени о концентрации взвешенных в воздухе частиц размером от менее 0,1 мкм до 5 мкм и более можно получить только с помощью СПК. Определение частиц размером примерно более 0,05 мкм может быть осуществлено путем прямого измерения светорассеяния отдельными частицами; для более мелких частиц могут потребоваться другие методы, такие как предварительный рост путем конденсации перед измерением частиц. 5.3. Данные о размере частиц относятся к системе частиц, используемой для калибровки SPC. Различия в системах обнаружения, электронных системах и системах обработки проб среди различных SPC могут способствовать различиям в характеристиках частиц. Необходимо проявлять осторожность при попытке сравнить данные для частиц, которые значительно отличаются по составу или форме от базового материала для калибровки. Различия также могут возникать между приборами, использующими аналогичные системы обнаружения частиц с разными рабочими параметрами. Эти эффекты следует распознавать и минимизировать, используя стандартные методы калибровки и эксплуатации SPC. 5.4. При применении этой практики делается фундаментальное предположение, что частицы в образце, проходящем через SPC, являются репрезентативными для частиц во всей анализируемой зоне с контролируемой пылью. Необходимо следить за тем, чтобы использовались хорошие процедуры отбора проб и чтобы ни на каком этапе процесса обработки и анализа проб не возникало никаких артефактов; эти меры предосторожности необходимы как при проверке, так и при эксплуатации СПК. 1.1 Эта методика охватывает определение концентрации частиц по количеству и распределения частиц по размерам в запыленных зонах и чистых помещениях для частиц размером примерно от 0,01 до 5,0 &#& #x03bc;м. Концентрации частиц, не превышающие 3,58201;&#×8201;106 частиц/м 3 (1008201;000/фут3), охватываются для всех частиц, равных или превышающих минимальный измеренный размер. 1.2 В этой практике используется бортовое устройство подсчета одиночных частиц (SPC), работа которого основана на измерении сигнала, создаваемого отдельной частицей, проходящей через зону чувствительности. Сигнал должен быть прямо или косвенно связан с размером частиц. Примечание 1: Здесь не указан тип SPC. SPC может представлять собой обычный оптический счетчик частиц (OPC), аэродинамический прибор для определения размера частиц, счетчик ядер конденсации (CNC), работающий в сочетании с диффузионной батареей или анализатором дифференциальной подвижности, или любое другое устройство, способное подсчитывать и определять размер отдельных частиц в диапазон размеров, вызывающих беспокойство, и отбор проб в условиях чистого помещения.

ASTM F50-12(2015) Ссылочный документ

ASTM D1356 Стандартная терминология, касающаяся отбора проб и анализа атмосферы*， 2023-11-01 Обновление
ASTM F328
ASTM F649 Стандартная практика вторичной калибровки счетчика частиц в воздухе с использованием процедур сравнения
ASTM F658
ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц
ISO 14644-2 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Мониторинг для обеспечения доказательств эффективности чистых помещений, связанной с чистотой воздуха по концентрации частиц.

ASTM F50-12(2015) История

2021 ASTM F50-21 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
2012 ASTM F50-12(2015) Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
2012 ASTM F50-12 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
2007 ASTM F50-07 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
1992 ASTM F50-92(2001)e1 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
1992 ASTM F50-92(1996) Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы