ASTM F50-92(2001)e1 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
Основная цель этого метода — описать процедуру сбора данных, близких к реальному времени, о концентрации частиц в воздухе и их распределении по размерам в чистых зонах, как показано с помощью методов подсчета отдельных частиц. Реализация некоторых правительственных и отраслевых требований требует сбора данных о размере частиц и концентрации с использованием SPC. Требования к обработке многих продуктов, производимых в чистых помещениях, включают настолько низкий уровень чистоты окружающей среды, что для определения характеристик воздуха в чистых помещениях требуется один счетчик частиц, способный обнаруживать очень мелкие частицы. Информацию в режиме реального времени о концентрации взвешенных в воздухе частиц размером от менее 0,1 мкм до 5 мкм и выше можно получить только с помощью СПК. Определение частиц размером примерно более 0,05 мкм может быть осуществлено путем прямого измерения светорассеяния отдельными частицами; для более мелких частиц могут потребоваться другие методы, такие как предварительный рост путем конденсации перед измерением частиц. Данные о размере частиц относятся к системе частиц, используемой для калибровки SPC. Различия в системах обнаружения, электронных системах и системах обработки проб среди различных SPC могут способствовать различиям в характеристиках частиц. Необходимо проявлять осторожность при попытке сравнить данные для частиц, которые значительно отличаются по составу или форме от базового материала для калибровки. Различия также могут возникать между приборами, использующими аналогичные системы обнаружения частиц с разными рабочими параметрами. Эти эффекты следует распознавать и минимизировать, используя стандартные методы калибровки и эксплуатации SPC. При применении этой практики делается фундаментальное предположение, что частицы в образце, проходящем через SPC, являются репрезентативными для частиц во всей анализируемой зоне с контролем пыли. Необходимо следить за тем, чтобы использовались хорошие процедуры отбора проб и чтобы ни на каком этапе процесса обработки и анализа проб не возникало никаких артефактов; эти меры предосторожности необходимы как при проверке, так и при эксплуатации SPC.1.1 Данная практика охватывает определение концентрации частиц по количеству и распределения частиц по размерам в запыленных зонах и чистых помещениях для частиц в диапазоне размеров приблизительно от 0,01 до 5,0 мкм. Концентрации частиц, не превышающие 3,5 X 106 частиц/м3 (100 000/фут3), охватываются для всех частиц, равных или превышающих минимальный измеренный размер. 1.2 В этой практике используется бортовое устройство подсчета одиночных частиц (SPC), работа которого основана на измерении сигнала, создаваемого отдельной частицей, проходящей через зону измерения. Сигнал должен быть прямо или косвенно связан с размером частиц. Примечание 1. Здесь не указан тип SPC. SPC может представлять собой обычный оптический счетчик частиц (OPC), аэродинамический прибор для определения размера частиц, счетчик ядер конденсации (CNC), работающий в сочетании с диффузионной батареей или анализатором дифференциальной подвижности, или любое другое устройство, способное подсчитывать и определять размер отдельных частиц в диапазон размеров, вызывающих беспокойство, и отбор проб в условиях чистого помещения. 1.3 Лица, выполняющие испытания в соответствии с этой практикой, должны быть обучены использованию SPC и понимать его работу. 1.4 Поскольку концентрация и гранулометрический состав взвешенных в воздухе частиц подвержены постоянным изменениям, выбор конфигурации пробоотборника, его местоположения и времени отбора проб будет влиять на результаты отбора проб. Кроме того, различия в физических измерениях, электронных системах и системах обработки проб между различными SPC, а также различия в физических свойствах различных измеряемых частиц могут способствовать изменениям в результатах испытаний.
ASTM F50-92(2001)e1 История
2021ASTM F50-21 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
2012ASTM F50-12(2015) Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
2012ASTM F50-12 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
2007ASTM F50-07 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
1992ASTM F50-92(2001)e1 Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы
1992ASTM F50-92(1996) Стандартная практика непрерывного определения размера и подсчета частиц в воздухе в запыленных зонах и чистых помещениях с использованием приборов, способных обнаруживать единичные субмикрометровые и более крупные частицы