General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 31352-2014
сфера применения
Настоящий стандарт определяет метод испытаний на коробление сапфировых отрезных, шлифовальных и полировальных дисков (далее именуемых дисками с сапфировой подложкой). Настоящий стандарт распространяется на испытание на коробление сапфировых подложек диаметром от 50,8 мм до 304,8 мм и толщиной не менее 200 мкм.
GB/T 31352-2014 Ссылочный документ
GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
GB/T 2828.1 Процедура проверки путем подсчета выборки, часть 1: План выборочного контроля по партиям, полученный по пределу приемочного качества (AQL)
GB/T 6620 Метод испытаний для измерения коробления кремниевых пластинок бесконтактным сканированием
GB/T 31352-2014 История
2014GB/T 31352-2014 Методы испытаний на коробление сапфировых подложек