Настоящий стандарт распространяется на определение толщины эпитаксиального слоя арсенида галлия. Измеримая толщина превышает 2 мкм. Удельное сопротивление подложки должно быть менее 0,02 Ом·см, а удельное сопротивление эпитаксиального слоя - более 0,1 Ом·см.