GB/T 8758-2006
Измерение толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия методом инфракрасной интерференции (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 8758-2006

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2006

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 8758-2006

заменять

GB/T 8758-1988

сфера применения

Настоящий стандарт применяется к измерению толщины эпитаксиального слоя арсенида галлия, при этом измеренная толщина превышает 2 мкм. Требуется, чтобы электроотрицательность материала подложки была менее 0,02 Ом•см, а электроотрицательность эпитаксиального слоя – более 0,1Ом•см.

GB/T 8758-2006 История

• 2006 GB/T 8758-2006 Измерение толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия методом инфракрасной интерференции
• 1988 GB/T 8758-1988 Измерение толщины эпитаксиальных слоев арсенида галлия методом инфракрасной интерференции