Настоящий стандарт определяет метод измерения концентрации носителей эпитаксиального слоя арсенида галлия вольт-емкостным методом. Настоящий стандарт применим для измерения концентрации носителей в эпитаксиальном слое арсенида галлия и сыпучем материале. Диапазон измерения: 1×1014~5×1017см-3.