Настоящий стандарт определяет метод измерения напряжения-емкости концентрации носителей эпитаксиального слоя арсенида галлия, который применим для измерения концентрации носителей заряда в основном материале эпитаксиального слоя арсенида галлия. Диапазон измерения: 1×1014см-3~5×1017см-3.