GB/T 30652-2014 (Англоязычная версия) Трихлорсилан для эпитаксиального кремния

Стандартный №: GB/T 30652-2014
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2014
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
состояние: быть заменен 2024-03
быть заменен: GB/T 30652-2023
Последняя версия: GB/T 30652-2023

сфера применения: Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества и форму заказа (или контракта) содержания трихлорсилана (SiHCl3) для эпитаксии кремния. Настоящий стандарт распространяется на трихлорсилан для эпитаксии кремния (далее - продукт), полученный путем очистки сырого трихлорсилана в качестве сырья.

GB/T 30652-2014 Ссылочный документ

GB 16483 Общие правила оформления паспорта химической безопасности
GB 190 Символ упаковки опасных грузов
GB 28654 Трихлорсилан для промышленного использования.
GB/T 191 Упаковка.Изобразительная маркировка погрузочно-разгрузочных работ.
GB/T 29056 Трихлорсилан для эпитаксии кремния.Определение содержания бора, алюминия, фосфора, ванадия, хрома, марганца, железа, кобальта, никеля, меди, мышьяка, молибдена и сурьмы. Масс-спектрометрический метод с индуктивно связанной плазмой.
YS/T 987 Определение содержания углерода в хлорсиланах методом газовой хроматографии и масс-спектрометрии.*， 2021-12-02 Обновление