GB/T 29056-2012
Трихлорсилан для эпитаксии кремния.Определение содержания бора, алюминия, фосфора, ванадия, хрома, марганца, железа, кобальта, никеля, меди, мышьяка, молибдена и сурьмы. Масс-спектрометрический метод с индуктивно связанной плазмой. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 29056-2012
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2012
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 29056-2012
- сфера применения
- Персонал, использующий этот стандарт, должен иметь практический опыт формальной лабораторной работы. Этот стандарт не рассматривает все возможные вопросы безопасности. Пользователь несет ответственность за принятие соответствующих мер безопасности и охраны здоровья и обеспечение соблюдения условий, предусмотренных соответствующими национальными законами и правилами. Настоящий стандарт устанавливает методы определения бора, алюминия, фосфора, ванадия, хрома, марганца, железа, кобальта. Методы определения содержания микроэлементов, таких как никель, медь, молибден, мышьяк, сурьма и др. Настоящий стандарт распространяется на определение бор, алюминий, фосфор, ванадий, хром, марганец, железо, кобальт, никель, медь, молибден, мышьяк, сурьма и др. в трихлорсилане (SiHCl3) для эпитаксии кремния. Диапазон определения каждого элемента приведен в таблице 1. Таблица 1 (опущена)
GB/T 29056-2012 История
- 2012 GB/T 29056-2012 Трихлорсилан для эпитаксии кремния.Определение содержания бора, алюминия, фосфора, ванадия, хрома, марганца, железа, кобальта, никеля, меди, мышьяка, молибдена и сурьмы. Масс-спектрометрический метод с индуктивно связанной плазмой.
