GB/T 18867-2014
Газы для электронной промышленности.Гексафторид серы (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 18867-2014
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 18867-2014
- заменять
- GB/T 18867-2002
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, знаки, упаковку, хранение и безопасность гексафторида серы. Настоящий стандарт распространяется на гексафторид серы, полученный прямой реакцией серы и фтора путем рафинирования и очистки. Этот продукт в основном используется в качестве чистящего средства и плазменного травителя в камерах химического осаждения из паровой фазы в электронной промышленности. Молекулярная формула: SF6. Относительная молекулярная масса: 146,0564192 (рассчитано по международной относительной атомной массе в 2007 году).
GB/T 18867-2014 Ссылочный документ
- GB 14193 Правила наполнения баллонов сжиженным газом
- GB 15258 Общие правила оформления предупредительной этикетки для химических веществ
- GB 16804 Предупредительные этикетки для газовых баллонов
- GB 190 Символ упаковки опасных грузов
- GB 5099 Бесшовные стальные газовые баллоны
- GB 7144 Цветная маркировка баллона для газов
- GB/T 12022 Гексафторид серы технический
- GB/T 26571 Спецификация срока годности специального газа
- GB/T 28726-2012 Газовый анализ.Газовый хроматограф с детектором ионизации гелия.
- GB/T 3723 Отбор проб химических продуктов для промышленного использования. Безопасность при отборе проб.
- GB/T 5832.1 Газовый анализ. Определение воды. Часть 1. Электролитический метод.*， 2016-12-13 Обновление
- GB/T 5832.3 Определение влаги в газах. Часть 3. Метод резонаторной спектроскопии.
- GB/T 8170 Правила округления числовых значений и выражения и определения предельных значений
GB/T 18867-2014 История
- 2014 GB/T 18867-2014 Газы для электронной промышленности.Гексафторид серы
- 2002 GB/T 18867-2002 Газы для электронной промышленности - Гексафторид серы.
