GB/T 18867-2002
Газы для электронной промышленности - Гексафторид серы. (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 18867-2002
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2002
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2015-07
- быть заменен
- GB/T 18867-2014
- Последняя версия
- GB/T 18867-2014
- сфера применения
- Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы анализа, правила контроля и требования к упаковке, маркировке, транспортировке, хранению и безопасности газообразных продуктов из гексафторида серы, используемых в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на гексафторид серы высокой чистоты, полученный реакцией серы и фтора и рафинированный и очищенный. Этот продукт в основном используется в качестве плазменного травителя, легирующей присадки, эпитаксиального газа или разбавленного газа-носителя для электронных компонентов и т. д.
GB/T 18867-2002 История
- 2014 GB/T 18867-2014 Газы для электронной промышленности.Гексафторид серы
- 2002 GB/T 18867-2002 Газы для электронной промышленности - Гексафторид серы.
