ISO 13095:2014 Химический анализ поверхности. Атомно-силовая микроскопия. Процедура определения in situ профиля хвостовика зонда АСМ, используемого для измерения наноструктур.

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет два метода определения формы наконечника зонда АСМ: в частности, хвостовик и приблизительный профиль наконечника. Эти методы проецируют профиль наконечника зонда АСМ на заданную плоскость, а характеристики хвостовика зонда также проецируются на эту плоскость при определенных рабочих условиях. Последнее указывает на полезность данного зонда для измерения глубины в узких траншеях и подобных профилях. Настоящий международный стандарт применим к зондам с радиусом более 50, где uo — неопределенность ширины гребневой структуры в эталонном образце, используемом для характеристики зонда.

ISO 13095:2014 Ссылочный документ

ISO 11039:2012 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Измерение скорости дрейфа.
ISO 11952:2014 Химический анализ поверхности - Сканирующая зондовая микроскопия - Определение геометрических величин с помощью СЗМ: Калибровка измерительных систем
ISO 18115-2:2010 Анализ химического состава поверхностей — Словарь — Часть 2: Термины, используемые в микроскопии с помощью зонда и выметания (премьерное издание)
ISO/TS 80004-4:2011 Нанотехнологии - Словарь - Часть 4: Наноструктурированные материалы

2014 ISO 13095:2014 Химический анализ поверхности. Атомно-силовая микроскопия. Процедура определения in situ профиля хвостовика зонда АСМ, используемого для измерения наноструктур.