ISO 11952:2014
Химический анализ поверхности - Сканирующая зондовая микроскопия - Определение геометрических величин с помощью СЗМ: Калибровка измерительных систем
- Стандартный №
- ISO 11952:2014
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO 11952:2019
- Последняя версия
- ISO 11952:2019
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет методы определения характеристик и калибровки осей сканирования сканирующих зондовых микроскопов для измерения геометрических величин на самом высоком уровне. Он применим к тем, кто осуществляет дальнейшую калибровку, и не предназначен для общего промышленного использования, где может потребоваться более низкий уровень калибровки. Настоящий международный стандарт преследует следующие цели: ——повысить сопоставимость измерений геометрических величин, выполненных с использованием сканирующих зондовых микроскопов, путем прослеживаемости до единицы длины; ——определить минимальные требования к процессу калибровки и условиям приемки; ——удостовериться в возможности калибровки прибора (присвоение прибору категории «калиброваемости»); ——определить объем калибровки (условия измерения и окружающая среда, диапазоны измерения, временная стабильность, переносимость); ——предоставить модель в соответствии с Руководством ISO/IEC 98-3 для расчета неопределенности простых геометрических величин при измерениях с использованием сканирующего зондового микроскопа; ——определить требования к отчетности о результатах.
ISO 11952:2014 Ссылочный документ
- IEC/TS 62622:2012 Искусственные решетки, используемые в нанотехнологиях. Описание и измерение параметров качества размеров.
- ISO 11039:2012 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Измерение скорости дрейфа.
- ISO 12179:2000 Геометрические характеристики изделия (GPS) - Текстура поверхности: метод профиля - Калибровка контактных (щуповых) инструментов
- ISO 12853:1997 Оптика и оптические приборы - Микроскопы - Информация, предоставляемая пользователю
- ISO 18115-2:2013 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.
- ISO 3274:1996 Геометрические характеристики изделия (GPS) - Текстура поверхности: Метод профиля - Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов
- ISO 4287:1997 Геометрическая спецификация продукта (GPS) - Текстура поверхности: метод профиля - Термины, определения и параметры текстуры поверхности
- ISO 4288:1996 Геометрические спецификации продукции (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Правила и процедуры оценки текстуры поверхности.
- ISO 5436-1:2000 Геометрические характеристики изделия (GPS) – Текстура поверхности: метод профиля; Эталоны измерений. Часть 1. Существенные меры
- ISO Guide 30:1992 Термины и определения, используемые в отношении справочных материалов
- ISO Guide 34:2009 Общие требования к компетентности производителей стандартных образцов
- ISO/IEC Guide 98-3:2008 Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).
ISO 11952:2014 История
- 2019 ISO 11952:2019 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение геометрических величин с помощью СЗМ. Калибровка измерительных систем.
- 2014 ISO 11952:2014 Химический анализ поверхности - Сканирующая зондовая микроскопия - Определение геометрических величин с помощью СЗМ: Калибровка измерительных систем
