ISO 11952:2019
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение геометрических величин с помощью СЗМ. Калибровка измерительных систем.

Стандартный №

ISO 11952:2019

Дата публикации

2019

Разместил

International Organization for Standardization (ISO)

Последняя версия

ISO 11952:2019

сфера применения

В этом документе определены методы определения характеристик и калибровки осей сканирования сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) для измерения геометрических величин на самом высоком уровне. Он применим к тем, кто осуществляет дальнейшую калибровку, и не предназначен для общего промышленного использования, где может потребоваться более низкий уровень калибровки. Настоящий документ преследует следующие цели: 　——повысить сопоставимость измерений геометрических величин, выполненных с помощью СЗМ, путем прослеживаемости до единицы длины; 　——определить минимальные требования к процессу калибровки и условиям приемки; 　——удостовериться в возможности калибровки прибора (присвоение прибору категории «калиброваемости»); 　——определить объем калибровки (условия измерения и окружающая среда, диапазоны измерения, временная стабильность, переносимость); 　——предоставить модель в соответствии с Руководством ISO/IEC 98-3 для расчета неопределенности простых геометрических величин при измерениях с использованием СЗМ; 　——определить требования к отчетности о результатах.

ISO 11952:2019 Ссылочный документ

• ISO 11039 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Измерение скорости дрейфа.
• ISO 18115-2 Химический анализ поверхности. Словарь. Часть 2. Термины, используемые в сканирующей зондовой микроскопии.*， 2021-12-21 Обновление
• ISO/IEC Guide 98-3 Неопределенность измерения - Руководство по выражению неопределенности измерения (ГУМ:1995). Расширение на любое количество выходных величин

ISO 11952:2019 История

• 2019 ISO 11952:2019 Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение геометрических величин с помощью СЗМ. Калибровка измерительных систем.
• 2014 ISO 11952:2014 Химический анализ поверхности - Сканирующая зондовая микроскопия - Определение геометрических величин с помощью СЗМ: Калибровка измерительных систем