GB/T 31227-2014
Метод контроля шероховатости поверхности атомно-силовым микроскопом напыленных тонких пленок (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 31227-2014

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2014

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 31227-2014

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод измерения шероховатости поверхности с использованием атомно-силового микроскопа (АСМ). Настоящий стандарт применим для измерения тонких пленок, полученных методом формирования пленки распылением, со средней шероховатостью Ra менее 100 нм. К этому методу можно отнести измерение шероховатости поверхности других ненапыленных пленок.

GB/T 31227-2014 Ссылочный документ

• GB/T 27760-2011 Метод испытаний для калибровки z-увеличения атомно-силового микроскопа на субнанометровых уровнях смещения с использованием одноатомных ступеней Si(111)

GB/T 31227-2014 История

• 2014 GB/T 31227-2014 Метод контроля шероховатости поверхности атомно-силовым микроскопом напыленных тонких пленок