GB/T 31225-2014
Метод определения толщины оксида кремния на подложке Si с помощью эллипсометра (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 31225-2014
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2014
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- Последняя версия
- GB/T 31225-2014
- сфера применения
- Этот стандарт предоставляет метод измерения толщины тонкого слоя диоксида кремния на поверхности кремния с использованием спектрального эллипсометра с плавно регулируемой длиной волны и переменным углом. Этот стандарт подходит для тестирования толщины тонкого слоя диоксида кремния с одинаковой толщиной, изотропией, толщиной 10–1000 нм на кремниевой подложке. Могут быть измерены и другие образцы однослойной диэлектрической пленки на подложке, непрозрачные при тестовой длине волны. Обратитесь к этому методу.
GB/T 31225-2014 Ссылочный документ
- JJF 1059.1-2012 Оценка и выражение неопределенности измерений
GB/T 31225-2014 История
- 2014 GB/T 31225-2014 Метод определения толщины оксида кремния на подложке Si с помощью эллипсометра
