GB/T 30701-2014 (Англоязычная версия) Химический анализ поверхности. Химические методы сбора элементов с поверхности рабочих эталонов кремниевых пластин и их определение методом рентгенофлуоресцентной (TXRF) спектроскопии полного отражения.

Стандартный №: GB/T 30701-2014
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2014
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 30701-2014

сфера применения: Настоящий стандарт определяет метод химического сбора (метод газофазного разложения или метод прямого кислотно-капельного разложения) и рентгенофлуоресцентную спектрометрию полного отражения (TXRF) для определения поверхностных элементов железа и/или никеля на поверхности рабочих стандартных образцов кремниевой пластины. Этот стандарт применим к железу и/или никелю, атомная поверхностная плотность которых находится в диапазоне 6×109 атомов/см2~5×1011 атомов/см2.

GB/T 30701-2014 Ссылочный документ

GB/T 6379.2-2004 Точность (правильность и точность) методов измерения и результатов. Часть 2: Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерения.
ISO 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
ISO 14706:2000 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).

2014 GB/T 30701-2014 Химический анализ поверхности. Химические методы сбора элементов с поверхности рабочих эталонов кремниевых пластин и их определение методом рентгенофлуоресцентной (TXRF) спектроскопии полного отражения.