ISO 14706:2000
Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
- Стандартный №
- ISO 14706:2000
- Дата публикации
- 2000
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO 14706:2014
- Последняя версия
- ISO 14706:2014
- сфера применения
- Настоящий международный стандарт определяет метод TXRF для измерения атомной поверхностной плотности элементарных загрязнений на химико-механически полированных или эпитаксиальных поверхностях кремниевых пластин. Метод применим к: ——элементам с атомным номером от 16 (S) до 92 (U); ——элементы загрязнения с атомной поверхностной плотностью от 1 × 10 атомов/см до 1 × 10 атомов/см; ——элементы загрязнения с атомной поверхностной плотностью от 5×10 атомов/см до 5×10 атомов/см методом подготовки образцов ППД (разложение в паровой фазе) (см. 3.4).
ISO 14706:2000 История
- 2014 ISO 14706:2014 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
- 2000 ISO 14706:2000 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
