BS ISO 14706:2014
Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).

Стандартный №

BS ISO 14706:2014

Дата публикации

2014

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS ISO 14706:2014

заменять

BS ISO 14706:2000

BS ISO 14706:2014 Ссылочный документ

• ISO 14644-1 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц*， 2015-12-01 Обновление
• ISO 5725-2:1994  Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений.

BS ISO 14706:2014 История

• 2014 BS ISO 14706:2014 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
• 2001 BS ISO 14706:2000 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).