BS ISO 14706:2000
Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).

Стандартный №

BS ISO 14706:2000

Дата публикации

2001

Разместил

British Standards Institution (BSI)

состояние

быть заменен 2014-07

быть заменен

BS ISO 14706:2014

BS ISO 14706:2001

Последняя версия

BS ISO 14706:2014

заменять

99/122512 DC:1999

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет метод TXRF для измерения атомной поверхностной плотности элементарных загрязнений на химико-механически полированных или эпитаксиальных поверхностях кремниевых пластин. Метод применим к: 　——элементам с атомным номером от 16 (S) до 92 (U); 　——элементы загрязнения с атомной поверхностной плотностью от 1 × 10 атомов/см до 1 × 10 атомов/см; 　——элементы загрязнения с атомной поверхностной плотностью от 5×10 атомов/см до 5×10 атомов/см методом подготовки образцов ППД (разложение в паровой фазе) (см. 3.4).

BS ISO 14706:2000 История

• 2014 BS ISO 14706:2014 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).
• 2001 BS ISO 14706:2000 Химический анализ поверхности. Определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).