JIS C 5630-12:2014
Полупроводниковые приборы.Микроэлектромеханические устройства.Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.

Стандартный №

JIS C 5630-12:2014

Дата публикации

2014

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS C 5630-12:2014

JIS C 5630-12:2014 Ссылочный документ

• ISO 12107 Металлические материалы. Испытания на усталость. Статистическое планирование и анализ данных.
• JIS C 5630-3 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.

JIS C 5630-12:2014 История

• 2014 JIS C 5630-12:2014 Полупроводниковые приборы.Микроэлектромеханические устройства.Часть 12. Метод испытаний тонкопленочных материалов на усталость при изгибе с использованием резонансной вибрации МЭМС-структур.