JIS C 5630-3:2009
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.

Стандартный №

JIS C 5630-3:2009

Дата публикации

2009

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS C 5630-3:2009

JIS C 5630-3:2009 Ссылочный документ

• JIS C 5630-2 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 2. Метод испытания тонкопленочных материалов на растяжение.

JIS C 5630-3:2009 История

• 2009 JIS C 5630-3:2009 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 3. Стандартный тонкопленочный образец для испытаний на растяжение.