KS D ISO 14237:2003 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение концентрации атомов бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.
В этом стандарте указано, что бор добавляется равномерно и калибруется с использованием сертифицированного стандартного материала, в который бор имплантирован ионами.
KS D ISO 14237:2003 История
0000 KS D ISO 14237-2003(2023)
0000 KS D ISO 14237-2003(2018)
2003KS D ISO 14237:2003 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение концентрации атомов бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.