KS D ISO 14237-2003(2023) Подповерхностный химический анализ. Масс-спектрометрический анализ вторичных ионов. Метод измерения концентрации равномерно добавленных атомов бора в кремнии.
2003KS D ISO 14237:2003 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение концентрации атомов бора в кремнии с использованием однородно легированных материалов.