Этот стандарт определяет метод калибровки электронного оже-спектрометра, когда погрешность шкалы кинетической энергии составляет 3 эВ, и используется для идентификации обычных элементов на поверхности. Кроме того, также указан метод определения цикла калибровки. Настоящий стандарт применяется к приборам с разрешением прямого или дифференциального режима менее или равным 0,5%, а размах амплитуды модуляции дифференциального режима составляет 2 эВ. Настоящий стандарт распространяется на спектрометры, оснащенные ионной пушкой с инертным газом или другими методами очистки проб с использованием электронной пушки с энергией луча 4 кэВ или более высокой.
2021GB/T 29732-2021 Химический анализ поверхности. Оже-электронные спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.
2013GB/T 29732-2013 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.