GB/T 29732-2021 (Англоязычная версия) Химический анализ поверхности. Оже-электронные спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.

сфера применения: В этом документе указан метод калибровки электронного оже-спектрометра, когда погрешность шкалы кинетической энергии составляет 3 эВ, и используется для идентификации обычных элементов на поверхности. Кроме того, в этом документе также указан метод определения цикла калибровки. Настоящий документ распространяется на приборы с разрешением менее или равным 0,5% в прямом или дифференциальном режиме, с пиковой амплитудой модуляции 2 эВ в дифференциальном режиме, оснащенные ионной пушкой с инертным газом или другим методом очистки проб, а также с энергия пучка 4 кэВ или выше. инструмент.

GB/T 29732-2021 Ссылочный документ

2021 GB/T 29732-2021 Химический анализ поверхности. Оже-электронные спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.
2013 GB/T 29732-2013 Химический анализ поверхности. Электронные оже-спектрометры среднего разрешения. Калибровка энергетических шкал для элементного анализа.