ISO 16413:2013
Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
- Стандартный №
- ISO 16413:2013
- Дата публикации
- 2013
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- состояние
- быть заменен
- ISO 16413:2020
- Последняя версия
- ISO 16413:2020
ISO 16413:2013 История
- 2020 ISO 16413:2020 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
- 2013 ISO 16413:2013 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
