ISO 16413:2020
Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
- Стандартный №
- ISO 16413:2020
- Дата публикации
- 2020
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 16413:2020
- сфера применения
- В этом документе описан метод оценки толщины, плотности и ширины границы раздела однослойных и многослойных тонких пленок толщиной примерно от 1 нм до 1 мкм на плоских подложках с помощью рентгеновской рефлектометрии (XRR). В этом методе используется монохроматический коллимированный луч, сканирующий либо угол, либо вектор рассеяния. Аналогичные соображения применимы к случаю сходящегося пучка с параллельным сбором данных с использованием распределенного детектора или к сканированию длины волны, но эти методы здесь не описаны. Хотя упоминается диффузный XRR и требования к экспериментам аналогичны, в настоящем документе это не рассматривается. Измерения могут проводиться на оборудовании различной конфигурации: от лабораторных приборов до рефлектометров на линиях синхротронного излучения или автоматизированных систем, используемых в промышленности. Следует обратить внимание на возможную нестабильность слоев во время сбора данных, что может привести к снижению точности результатов измерений. Поскольку РФА, выполняемый на одной длине волны, не дает химической информации о слоях, следует обращать внимание на возможное загрязнение или реакции на поверхности образца. На точность результатов для внешнего слоя сильно влияют любые изменения на поверхности. ПРИМЕЧАНИЕ 1. В этом документе не описаны патентованные технологии.
ISO 16413:2020 История
- 2020 ISO 16413:2020 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
- 2013 ISO 16413:2013 Оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность.
