GB/T 15862-2012 (Англоязычная версия) Общие характеристики оборудования для ионной имплантации

Стандартный №: GB/T 15862-2012
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2012
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 15862-2012
заменять: GB/T 15862-1995

сфера применения: Настоящий стандарт определяет терминологию, классификацию продукции, технические требования, испытания, правила и знаки проверки, упаковку, транспортировку и хранение ионных имплантаторов. Настоящий стандарт распространяется на имплантаторы ионов электрической энергии, используемые в полупроводниковых технологиях. Другие ионные имплантаторы также могут быть использованы в качестве эталона.

GB/T 15862-2012 Ссылочный документ

GB 18209.1 Электробезопасность машин. Индикация, маркировка и срабатывание. Часть 1. Требования к визуальным, акустическим и тактильным сигналам.
GB/T 13384-1992 Общие технические условия на упаковку механических и электротехнических изделий
GB/T 191 Упаковка.Изобразительная маркировка погрузочно-разгрузочных работ.
GB/T 4857.7-2005 Упаковка. Основные испытания транспортных упаковок. Часть 7. Метод испытания на синусоидальную вибрацию при постоянной частоте.
GB/T 5080.7-1986 Испытание надежности оборудования. Планы испытаний на соответствие интенсивности отказов и среднего времени между отказами при условии постоянной интенсивности отказов.
GB/T 6388-1986 Знак отгрузки транспортной упаковки
SJ/T 10674 Общая спецификация для покрытия слоем
SJ/T 142 Общие технические условия на специальное оборудование для электронной промышленности