GB/T 15862-1995
Общая спецификация оборудования для ионной имплантации (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 15862-1995
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1995
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2013-02
- быть заменен
- GB/T 15862-2012
- Последняя версия
- GB/T 15862-2012
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет терминологию, классификацию продукции, технические требования, испытания, правила и знаки проверки, упаковку, транспортировку и хранение ионных имплантаторов. Настоящий стандарт распространяется на имплантаторы ионов электрической энергии, используемые в полупроводниковых технологиях. Другие ионные имплантаторы также могут быть использованы в качестве эталона.
GB/T 15862-1995 История
- 2012 GB/T 15862-2012 Общие характеристики оборудования для ионной имплантации
- 1995 GB/T 15862-1995 Общая спецификация оборудования для ионной имплантации
