В этом руководстве описаны процедуры количественного определения элементного состава фаз в микроструктуре. Он включает в себя как методы, использующие стандарты, так и нестандартные методы, и обсуждает точность и достоверность, которых можно ожидать от этого метода. Руководство применимо к EDS с твердотельным детектором рентгеновского излучения, используемым в SEM или EPMA. EDS является подходящим методом для рутинного количественного анализа элементов, которые 1) тяжелее или равны натрию по атомному весу, 2) присутствуют в десятых долях процента или больше по массе и 3) занимают несколько кубических микрометров или более. образца. Элементы с более низким атомным номером, чем у натрия, можно анализировать с помощью спектрометров со сверхтонкими окнами или без окон, как правило, с меньшей точностью, чем это возможно для более тяжелых элементов. Микроэлементы, определяемые как <1,0 %,2, можно анализировать, но с меньшей точностью по сравнению с анализом элементов, присутствующих в более высоких концентрациях.1.1 Настоящее руководство предназначено для помощи тем, кто использует энергодисперсионную спектроскопию (ЭДС) для количественного анализа. анализ материалов с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) или электронно-зондового микроанализатора (ЭПМА). Он не предназначен для замены формального курса обучения, а скорее представляет собой руководство по возможностям и ограничениям метода и его использованию. Более подробное рассмотрение этого вопроса см. в Goldstein, et al. В этом руководстве не рассматривается ЭДС с помощью просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). 1.2 Единицы8212;Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.3 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.