1.1 Настоящее руководство предназначено для помощи тем, кто использует энергодисперсионную спектроскопию (ЭДС) для количественного анализа материалов с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) или электронно-зондового микроанализатора (ЭЗМА). Он не предназначен для замены формального курса обучения, а скорее представляет собой руководство по возможностям и ограничениям метода и его использованию. Более подробное рассмотрение этого вопроса см. в Goldstein, et al. В этом руководстве не рассматривается ЭДС с помощью просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ). 1.2 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.