BS ISO 16413:2013
Оценка толщины, плотности и межфазной ширины тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Согласование и позиционирование инструментальных требований, сбор данных, анализ данных и отчетность.

Стандартный №

BS ISO 16413:2013

Дата публикации

2013

Разместил

British Standards Institution (BSI)

состояние

быть заменен 2020-08

быть заменен

BS ISO 16413:2020

Последняя версия

BS ISO 16413:2020

BS ISO 16413:2013 История

• 2020 BS ISO 16413:2020 Оценка толщины, плотности и межфазной ширины тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность
• 2013 BS ISO 16413:2013 Оценка толщины, плотности и межфазной ширины тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Согласование и позиционирование инструментальных требований, сбор данных, анализ данных и отчетность.