BS ISO 16413:2020 Оценка толщины, плотности и межфазной ширины тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность

сфера применения: Что такое ISO 16413? ISO 16413 — это международный стандарт, в котором обсуждается оценка толщины, плотности и ширины границы раздела тонких пленок с помощью рентгеновской рефлектометрии. ISO 16413 определяет метод оценки толщины, плотности и ширины раздела слоев и многослойных тонких пленок толщиной примерно от 1 нм до 1 мкм на плоских подложках с использованием рентгеновской рефлектометрии (XRR). В стандарте ISO 16413 используется монохроматический коллимированный луч, сканирующий угол или вектор рассеяния. Примечание 1: Сходящийся луч с параллельным сбором данных с использованием распределенного детектора или длины волны сканирования не описан в ISO 16413. Примечание 2: Запатентованные методы не описаны...

BS ISO 16413:2020 История

2020 BS ISO 16413:2020 Оценка толщины, плотности и межфазной ширины тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Требования к инструментам, выравнивание и позиционирование, сбор данных, анализ данных и отчетность
2013 BS ISO 16413:2013 Оценка толщины, плотности и межфазной ширины тонких пленок методом рентгеновской рефлектометрии. Согласование и позиционирование инструментальных требований, сбор данных, анализ данных и отчетность.