Настоящий стандарт определяет тип и основные параметры, требования, методы измерения, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование, хранение и требования к обеспечению качества обычных типов распылительных ионных насосов (далее - ионные насосы). Настоящий стандарт распространяется на обычные типы ионных насосов распыления.
JB/T 4081-2011 Ссылочный документ
GB 22360-2008 Требования безопасности к вакуумным насосам
GB 4793.1-2007 Требования безопасности к электрооборудованию измерительного, контрольного и лабораторного назначения. Часть 1. Общие требования.