Этот стандарт определяет технические требования, правила проверки, методы испытаний, упаковку, хранение и т. д. для обычных типов ионных насосов распыления. Настоящий стандарт распространяется на двухступенчатые (тип L) и трехполюсные (тип 3L) ионно-распылительные насосы, указанные в JB/T 4081.
JB/T 4082-1991 История
2011JB/T 4081-2011 Вакуумная технология – ионный насос распыления
1991JB/T 4082-1991 Технические условия на ионный насос распыления
JB/T 4082-1991 Технические условия на ионный насос распыления было изменено на JB/T 4081-2011 Вакуумная технология – ионный насос распыления.