ASTM E1162-11
Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
- Стандартный №
- ASTM E1162-11
- Дата публикации
- 2011
- Разместил
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- состояние
- быть заменен
- ASTM E1162-11(2019)
- Последняя версия
- ASTM E1162-11(2019)
- сфера применения
- Эта практика используется для описания условий эксперимента, как указано в разделе 6 раздела «Методы»; или «Экспериментальный»; разделы других изданий (с учетом редакционных ограничений). В отчет будут включены конкретные условия для каждого набора данных, особенно если в публикации изменяются какие-либо параметры для разных наборов данных профиля глубины распыления. Например, сноски к таблицам или подписи к рисункам могут использоваться для указания различных условий. 1.1 Эта методика охватывает информацию, необходимую для описания и отчета об оборудовании, параметрах образцов, условиях эксперимента и процедурах обработки данных. Профили глубины распыления ВИМС могут быть получены с использованием широкого спектра условий возбуждения первичного луча, массового анализа, сбора данных и методов обработки (1-4). 1.2 Ограничения8212; Эта практика ограничивается обычными профилями глубины распыления, в которых информация усредняется по анализируемой области в плоскости образца. Исключаются методы ионного микрозонда или микроскопа, обеспечивающие поперечное пространственное разрешение вторичных ионов в пределах анализируемой области, например, профилирование глубины изображения. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E1162-11 Ссылочный документ
- ASTM E673 Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности
ASTM E1162-11 История
- 2019 ASTM E1162-11(2019) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
- 2011 ASTM E1162-11 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
- 2006 ASTM E1162-06 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
- 1987 ASTM E1162-87(2001) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
- 1987 ASTM E1162-87(1996) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
