ASTM E1162-11(2019)
Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)

Стандартный №

ASTM E1162-11(2019)

Дата публикации

2019

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Последняя версия

ASTM E1162-11(2019)

сфера применения

1.1 Данная методика охватывает информацию, необходимую для описания и отчета об оборудовании, параметрах образцов, условиях эксперимента и процедурах обработки данных. Профили глубины распыления ВИМС могут быть получены с использованием широкого спектра условий возбуждения первичного луча, массового анализа, методов сбора данных и обработки (1-4).2 1.2 Ограничения. Эта практика ограничивается обычными профилями глубины распыления, в которых информация усредняется. по анализируемому участку в плоскости образца. Исключаются методы ионного микрозонда или микроскопа, обеспечивающие поперечное пространственное разрешение вторичных ионов в пределах анализируемой области, например, профилирование глубины изображения. 1.3 Значения, указанные в единицах СИ, следует считать стандартными. Никакие другие единицы измерения в настоящий стандарт не включены. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности, охраны труда и окружающей среды, а также определение применимости нормативных ограничений перед использованием. 1.5 Настоящий международный стандарт был разработан в соответствии с международно признанными принципами стандартизации, установленными в Решении о принципах разработки международных стандартов, руководств и рекомендаций, выпущенном Комитетом Всемирной торговой организации по техническим барьерам в торговле (ТБТ).

ASTM E1162-11(2019) Ссылочный документ

• ASTM E673  Стандартная терминология, относящаяся к анализу поверхности

ASTM E1162-11(2019) История

• 2019 ASTM E1162-11(2019) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
• 2011 ASTM E1162-11 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
• 2006 ASTM E1162-06 Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
• 1987 ASTM E1162-87(2001) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)
• 1987 ASTM E1162-87(1996) Стандартная практика представления данных о профиле глубины распыления в масс-спектрометрии вторичных ионов (ВИМС)