Методы А или Б полезны при испытании герметичных устройств с внутренними объемами. Для микроэлектронных устройств установлены максимально допустимые скорости утечек, чтобы гарантировать, что на их рабочие характеристики не повлияет утечка воздуха, водяного пара или других загрязнений в течение ожидаемого срока службы. Необходимо позаботиться о контроле давления бомбардировки, времени бомбардировки и времени пребывания после бомбардировки, иначе результаты могут существенно отличаться. и т. д., на предмет утечек через стенки корпуса. Их можно использовать с различной степенью чувствительности (в зависимости от внутреннего объема, прочности корпуса, времени подготовки теста и сорбционных характеристик материала корпуса по гелию). В общей практике пределы чувствительности составляют от 10°10 до 10°6 Па м3/с (от 10°9 усл. см3/с до 10°5 усл. см3/с). s при 0°C) для гелия, хотя при некоторых обстоятельствах эти пределы могут быть превышены на несколько десятилетий в любом направлении. 1.2 Описаны два метода испытаний: 1.2.1 Метод испытаний А8212; Подготовка испытуемой детали путем бомбардировки. 1.2.2 Метод испытаний B8212. Подготовка испытуемой детали путем предварительного заполнения. 1.3 Единицы8212;Значения, указанные в единицах СИ или стандартно-см3/сек, следует рассматривать отдельно как стандартные. Значения, указанные в каждой системе, не могут быть точными эквивалентами: поэтому каждая система должна использоваться независимо от другой. Объединение значений из двух систем может привести к несоответствию стандарту. 1.4 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM E493/E493M-11 История
2022ASTM E493/E493M-11(2022) Стандартная практика обнаружения утечек с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме тестирования «изнутри наружу»
2017ASTM E493/E493M-11(2017) Стандартная практика обнаружения утечек с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме тестирования «изнутри наружу»
2011ASTM E493/E493M-11 Стандартная практика обнаружения утечек с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме тестирования «изнутри наружу»
2006ASTM E493-06 Стандартные методы испытаний на утечки с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме проверки «изнутри наружу»
1997ASTM E493-97 Стандартные методы испытаний на утечки с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме проверки «изнутри наружу»