ASTM E493-06
Стандартные методы испытаний на утечки с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме проверки «изнутри наружу»

Стандартный №

ASTM E493-06

Дата публикации

2006

Разместил

American Society for Testing and Materials (ASTM)

состояние

быть заменен

быть заменен

ASTM E493/E493M-11

Последняя версия

ASTM E493/E493M-11(2022)

сфера применения

Методы А или Б полезны при испытании герметичных устройств с внутренними объемами. Для микроэлектронных устройств установлены максимально допустимые скорости утечек, чтобы гарантировать, что на их рабочие характеристики не повлияет утечка воздуха, водяного пара или других загрязнений в течение ожидаемого срока службы. Необходимо соблюдать осторожность, чтобы контролировать давление бомбардировки, время бомбардировки и время пребывания после бомбардировки, иначе результаты могут существенно отличаться. и т. д. на предмет утечек через стенки корпуса. Их можно использовать с различной степенью чувствительности (в зависимости от внутреннего объема, прочности корпуса, времени подготовки теста и сорбционных характеристик материала корпуса по гелию). В общей практике пределы чувствительности для гелия составляют от 4,4·1015 до 4,4·1011 моль/с (от 109 стандартных см3/с до 105 стандартных см3/с при 0°С), хотя в некоторых обстоятельствах эти пределы могут быть превышены на несколько десятилетий в любом направлении. .1.2 Описаны два метода испытаний: 1.2.1 Метод испытаний А. Подготовка детали путем бомбардировки. 1.2.2 Метод испытаний В. Подготовка детали к испытаниям путем предварительного заполнения. Настоящий стандарт не претендует на рассмотрение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. . Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.

ASTM E493-06 История

• 2022 ASTM E493/E493M-11(2022) Стандартная практика обнаружения утечек с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме тестирования «изнутри наружу»
• 2017 ASTM E493/E493M-11(2017) Стандартная практика обнаружения утечек с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме тестирования «изнутри наружу»
• 2011 ASTM E493/E493M-11 Стандартная практика обнаружения утечек с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме тестирования «изнутри наружу»
• 2006 ASTM E493-06 Стандартные методы испытаний на утечки с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме проверки «изнутри наружу»
• 1997 ASTM E493-97 Стандартные методы испытаний на утечки с использованием течеискателя масс-спектрометра в режиме проверки «изнутри наружу»