ASTM F1467-99(2005)e1 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
Электронные схемы, используемые во многих космических, военных и ядерных энергетических системах, могут подвергаться различным уровням дозы ионизирующего излучения. Для проектирования и изготовления таких схем крайне важно иметь методы испытаний, позволяющие определить уязвимость или надежность (меру неуязвимости) компонентов, которые будут использоваться в таких системах. Производители в настоящее время продают полупроводниковые детали с гарантированными показателями твердости, а система военных спецификаций расширяется, чтобы включить спецификации твердости для деталей. Поэтому для стандартизации квалификационного тестирования необходимы методы и руководства по тестированию. Использование источников рентгеновского излучения низкой энергии (менее 10 кэВ) рассматривалось в качестве альтернативы кобальту-60 для испытаний на воздействие ионизирующего излучения микроэлектронных устройств (3, 4, 5, 6). Целью настоящего руководства является предоставление исходной информации и рекомендаций по такому использованию, где это необходимо. Примечание 38212;Кобальт-60. Наиболее часто используемым источником ионизирующего излучения для тестирования ионизирующего излучения (общая доза) является кобальт-60. Гамма-лучи с энергиями 1,17 и 1,33 МэВ являются первичным ионизирующим излучением, испускаемым кобальтом-60. При облучении с использованием источников кобальта-60 испытуемые образцы должны быть заключены в свинцово-алюминиевый контейнер, чтобы свести к минимуму эффекты повышения дозы, вызванные низкоэнергетическим рассеянным излучением (если не было продемонстрировано, что эти эффекты незначительны). Для этого свинцово-алюминиевого контейнера требуется минимум 1,5 мм свинца, окружающего внутренний экран из алюминия толщиной от 0,7 до 1,0 мм. (См. 8.2.2.2 и Методику E1249.) Рентгеновский тестер оказался полезным инструментом для проверки воздействия ионизирующего излучения, поскольку: Он обеспечивает относительно высокую мощность дозы по сравнению с большинством источников кобальта-60, что позволяет сократить время тестирования. . Излучение имеет достаточно низкую энергию, поэтому его можно легко коллимировать. В результате можно облучить одно устройство на пластине. Проблемы радиационной безопасности легче решить с помощью рентгеновского облучателя, чем с помощью источника кобальта-60. Это связано как с относительно низкой энергией фотонов, так и с тем, что источник рентгеновского излучения легко отключить. Рентгеновские установки зачастую дешевле, чем сопоставимые установки на кобальте-60. Основные радиационно-индуцированные эффекты, обсуждаемые в этом руководстве (выделение энергии, увеличение поглощенной дозы, электронно-дырочная рекомбинация) (см. Приложение X1), останутся примерно такими же, когда будут внесены изменения в процесс для улучшения характеристик стойкости детали к ионизирующему излучению. что производится. Это справедливо до тех пор, пока толщины и состав слоев устройства практически не меняются. Ожидается, что в результате такой нечувствительности к переменным процесса рентгеновский тестер на 10 кэВ станет отличным устройством для улучшения и контроля процесса. В нескольких опубликованных отчетах указывается на успех в сравнении рентгеновского излучения и гамма-излучения кобальта-60 с использованием поправок на повышение дозы и электрон-дырочную рекомбинацию. Другие отчеты показали, что нынешнее понимание физических эффектов недостаточно для объяснения экспериментальных результатов. В результате нет полной уверенности в том, что в настоящее время адекватно поняты различия между эффектами рентгеновского излучения и гамма-облучения кобальта-60. (См. 8.2.1 и Приложение X2.) Из-за возможной непонимания зависимости радиационных эффектов от энергии фотонов, если для квалификационных испытаний или приемочных испытаний партии будет использоваться рентгеновский тестер с напряжением 10 кэВ, рекомендуется что такие тесты должны..........
ASTM F1467-99(2005)e1 История
2018ASTM F1467-18 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера (фотонов с энергией 10 кэВ) при испытаниях полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
2011ASTM F1467-11 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера (x2248; фотоны 10 кэВ) при испытаниях полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1999ASTM F1467-99(2005)e1 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1999ASTM F1467-99(2005) Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1999ASTM F1467-99 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения