ASTM F1467-99(2005) Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1.1 В настоящем руководстве описаны рекомендуемые процедуры использования рентгеновских тестеров (т. е. источников со спектром фотонов, имеющим среднюю энергию фотонов [приблизительно] 10 кэВ и максимальную энергию [приблизительно] 50 кэВ) при тестировании полупроводниковых дискретных устройств и интегральных схем для последствия ионизирующего излучения. 1.2. Рентгеновский тестер может быть пригоден для исследования чувствительности пластинчатых или изолированных микроэлектронных устройств к воздействию ионизирующего излучения. Он не подходит для исследования других радиационно-индуцированных эффектов, таких как единичные эффекты (SEE) или эффекты, вызванные смещением. 1.3 В этом руководстве основное внимание уделяется радиационным эффектам в элементах схемы металлооксидного кремния (МОП), как сконструированных (как в МОП-транзисторах), так и паразитных (как в паразитных МОП-элементах в биполярных транзисторах). 1.4 Приводятся сведения о целесообразности сравнения результатов стойкости к ионизирующему излучению, полученных с помощью рентгеновского прибора, с результатами, полученными при гамма-облучении кобальта-60. Оценены некоторые различия в радиационно-индуцированных эффектах, вызванные различиями в энергиях фотонов рентгеновского и гамма-источников кобальта-60. Представлены количественные оценки величины этих различий в эффектах и других факторов, которые следует учитывать при составлении протоколов испытаний. 1.5 Если рентгеновский прибор с напряжением 10 кэВ будет использоваться для квалификационных испытаний или приемочных испытаний партии, рекомендуется, чтобы такие испытания сопровождались перекрестной проверкой с гамма-облучением кобальта-60. 1.6 Сравнение результатов стойкости к ионизирующему излучению, полученных с помощью рентгеновского тестера, с результатами, полученными с помощью линейного ускорителя, протонов и т. д. выходит за рамки настоящего руководства. 1.7 Современное понимание различий между физическими эффектами, вызванными рентгеновским излучением и гамма-облучением кобальта-60, используется для оценки соотношения (число дырок-кобальт-60/(количество дырок-X- Определены несколько случаев, когда ожидается, что различия в эффектах, вызванных рентгеновскими лучами и гамма-излучением кобальта-60, будут небольшими. Описаны и другие случаи, когда различия потенциально могут достигать четырехкратного значения. 1.8 Следует признали, что ни рентгеновские тестеры, ни источники гамма-излучения на кобальте-60 в целом не обеспечивают точного моделирования радиационной обстановки в конкретной системе. Использование любого испытательного источника потребует экстраполяции эффектов, ожидаемых от указанной радиационной обстановки. В этом руководстве мы обсуждаем различия между рентгеновским тестером и гамма-эффектами кобальта-60. Это обсуждение должно быть полезно в качестве основы для проблемы экстраполяции эффектов, ожидаемых от другой радиационной среды. Однако процесс экстраполяции к ожидаемым реальная среда рассматривается в другом месте (1, 2). 1.9 Временной масштаб рентгеновского облучения и измерения может сильно отличаться от времени облучения в предполагаемом применении устройства. Приведены сведения о временных эффектах. 1.10. Обсуждается также возможное боковое распространение коллимированного рентгеновского луча за пределы желаемой облучаемой области на пластине. 1.11 Приводятся сведения о рекомендуемой методике эксперимента, дозиметрии и интерпретации данных. 1.12 Радиационные испытания полупроводниковых устройств могут привести к серьезному ухудшению электрических параметров облученных устройств и поэтому должны рассматриваться как разрушающие испытания. 1.13 Настоящий стандарт не претендует на решение всех проблем безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и охраны труда и определение применимости нормативных ограничений перед использованием.
ASTM F1467-99(2005) История
2018ASTM F1467-18 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера (фотонов с энергией 10 кэВ) при испытаниях полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
2011ASTM F1467-11 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера (x2248; фотоны 10 кэВ) при испытаниях полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1999ASTM F1467-99(2005)e1 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1999ASTM F1467-99(2005) Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения
1999ASTM F1467-99 Стандартное руководство по использованию рентгеновского тестера ([приблизительно] фотонов 10 кэВ) при тестировании полупроводниковых приборов и микросхем на воздействие ионизирующего излучения