GOST R 8.700-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Метод измерения эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа
GOST 12.1.005-1988 Система стандартов безопасности труда. Общие санитарные требования к воздуху рабочей зоны.
GOST 12.1.045-1984 Система стандартов безопасности труда. Электростатические поля. Уровни толерантности и методы контроля на рабочих местах
GOST 25142-1982 Шероховатость поверхности. Понятия и определения
GOST R 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефа монокристаллического кремния нанометрового диапазона. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала изготовления.
GOST R 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Рельефные меры нанометрового диапазона с трапециевидным профилем элементов. Методы проверки
GOST R 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Атомно-силовые сканирующие зондовые микроскопы. Методы проверки
GOST R 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Атомно-силовые сканирующие зондовые микроскопы. Метод калибровки
GOST R 8.644-2008 Государственная система обеспечения единства измерений. Рельефные меры нанометрового диапазона с трапециевидным профилем элементов. Методы калибровки
GOST R ISO 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия ISO 14644-1.
GOST R ISO 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Операции
GOST R 8.700-2010 История
2010GOST R 8.700-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Метод измерения эффективной высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа