GOST 12.2.061-1981 Система стандартов безопасности труда. Промышленное оборудование. Общие требования безопасности к рабочим местам
GOST ISO 14644-1-2002 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
GOST R 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефа монокристаллического кремния нанометрового диапазона. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала изготовления.
GOST R 8.629-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Рельефные меры нанометрового диапазона с трапециевидным профилем элементов. Методы проверки
GOST R ISO 14644-2-2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия ISO 14644-1.
GOST R ISO 14644-5-2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 5. Операции
GOST R 8.635-2007 История
2007GOST R 8.635-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Атомно-силовые сканирующие зондовые микроскопы. Метод калибровки