ISO 17331:2004/Amd 1:2010
Химический анализ поверхности - Химические методы сбора элементов с поверхности рабочих эталонных материалов кремниевых пластин и их определение методом рентгенофлуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF); Поправка 1