BS ISO 16700:2004
Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.

Стандартный №

BS ISO 16700:2004

Дата публикации

2004

Разместил

British Standards Institution (BSI)

состояние

быть заменен 2016-07

быть заменен

BS ISO 16700:2016

Последняя версия

BS ISO 16700:2016

заменять

00/124017 DC:2000

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки увеличения изображений, создаваемых сканирующим электронным микроскопом (СЭМ), с использованием соответствующего эталонного материала. Этот метод ограничен увеличением, определяемым доступным диапазоном размеров структур в калибровочном эталонном материале. Настоящий международный стандарт не распространяется на специализированный РЭМ для измерения критических размеров.

BS ISO 16700:2004 История

• 2016 BS ISO 16700:2016 Отслеживаемые изменения. Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения
• 2004 BS ISO 16700:2004 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.